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本文标题："金刚石碳膜DLC架构的制造技术"
新闻来源：未知 发布时间：2018-12-20 23:23:31 本站主页地址：http://www.jiance17.com
金刚石碳膜DLC架构的制造技术
类金刚石碳膜(DLC)具有很多有吸引力的性能，如高弹性模量、高硬度
、化学惰性和疏水性能。DLC膜有望用于建造在潮湿和恶劣环境不退化的微
米和纳米尺度架构。Li和Chua给出了在纳米结构设计中DLC膜相
比Si基材料的应用潜力。他们讨论了DLC的合成和物理性能，DLC用于微机
械和纳米机械设备的潜力，以及聚焦离子束(FIB)和FIB一辅助CVD来设计和
制造DLC架构的制造技术。作者也提及了薄膜腐蚀和纳米架构设计优化等DL
C膜设计和制造技术难题。由于它们的生物相容性良好，纳米结构DLC膜也
可以用于生物传感器和纳流控系统，以实现单分子传感和检测。作者建议
采用综合底部．向上和顶部．向下的方法制造高性能复合纳米架构用于DLC
基设备。在后续章节中Jin等人进一步讨论了基于薄膜生长的纳米组装。
在特殊情况下，高性能纳米级设备需要制备高取向性和规则阵列的纳
米结构，以获得有利的各向异性性能或增加设备分立元件(如晶体管)的面
密度。高取向性1 D纳米线结构可以提高面密度，同时可以调节电学和光学
性能。
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