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本文标题："微型注模工艺-微型元件制备技术检测显微镜"
新闻来源：未知 发布时间：2018-8-23 20:56:31 本站主页地址：http://www.jiance17.com
微型注模工艺-微型元件制备技术检测显微镜
微型元件制备技术
近年来微型元件制备技术，已成为一个重要发展方向。在21世
纪，渗透到科学技术各个部门的一个关键技术就是微系统技术。有
人认为微系统技术是纳米技术和人类社会的纽带。微系统技术在资
讯科技、通讯、光电子、医疗、汽车等领域有广泛的应用。它已成
为提升竞争力的关键要素。它影响人类生活的多个方面。计算机和
手机就利用微系统技术所制造的万亿个微型元件完成其功能，使人
们可以在信息世界中遨游。微系统技术中一个重要组成部分，就是
微型元件制备工艺。高分子材料及金属材料早就进入微型元件的生
产，而陶瓷材料则是后进者。原有的传统制备工艺不一定适用，而
采用了新的制备工艺。常用的有：微型注模工艺、低压力注模、热
注工艺、印花瓷带工艺、离心浇注、凝胶溶胶浇注、激光加工工艺
等等。最精细的激光加工，例如在人头发(直径60μm)上刻字。可
切割、钻孔、标记、抛光。分辨率可达0．5μm。一些微型传感元
件，常采用功能陶瓷制造，可以监控人们日常生活。例如医学诊断
用的微型超声传感器，是用4000个PZT压电瓷柱(边长100μm，高40
0μm)，排列在很小空间内构成的。一些微型传感器(如同人的神经
)，它送出测得的讯号到微处理器(相当于人脑)，再控制驱动器(相
当于肌肉)从而完成反馈动作。
这类微型元件的大量生产，主要是因为当时引入了厚膜及多层
工艺技术(其中精密丝网印刷起主要作用)。生产中多用电脑控制，
可自动化、大批量生产。德国某陶瓷材料研究中心，建立了微装配
系统，能满足传送、装配、测量、调试等工序，其中一个主要部件
为工具变换系统。国际上已发展出一些结构部件，如显微光学、显
微驱动、显微流动、显微医疗等以及微型泵、微混合器、吸附器、
微型反应器等，并实现连续化生产。微型技术中所用陶瓷材料主要
为压电铁电等功能陶瓷，但也常涉及氧化铝瓷、氧化锆瓷及羟基磷
灰石瓷等。
已能制造的微型机械产品有：
(1)微型泵，如分币大小、机壳用硅制造，将极微的压电驱动
片装入壳内，通电后引发振动，可抽吸液体或气体
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