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本文标题："MEMS陀螺仪测量单轴或多轴旋转的角速度"
新闻来源：未知 发布时间：2018-7-15 0:46:59 本站主页地址：http://www.jiance17.com
MEMS陀螺仪测量单轴或多轴旋转的角速度
加速度计
有五种形式的运动传感：加速度、振动(周期性加速度)、冲击(瞬间加
速度)、倾斜(静态加速度)和旋转。除了旋转，这些运动形式都可以用加速
度计进行测量。因此，加速度计得到了广泛的应用，从设备跌落过程中触发
硬盘保护系统，到游戏中的手势识别等。MEMS加速度计通常可以是电容型或
压阻型的。电容型加速度计由粘贴在基底上的固定金属板和粘贴在框架上的
可移动金属板组成。加速度带来的框架位移，导致差分电容的变化，从而被
板上电路测量得到。电容型加速度计具有较高的灵敏度，应用于低幅度、低
频率器件中。压阻型加速度计包含一个电阻材料，它与悬臂梁结合在一起，
悬臂梁将随着加速度的出现而发生弯曲，从而使电阻材料发生变形，产生一
个与加速度大小相关的电阻变化。压阻型加速度计‘更加坚固耐用，可应用
于需要更高幅度和频率响应的场合
陀螺仪
MEMS陀螺仪测量单轴或多轴旋转的角速度，。陀螺仪可以准
确地测量自由空间中的复杂运动。它们不采用需要轴承的旋转部件，因此更
易于采用半导体加工工艺对其进行小型化和批量生产。几乎所有的MEMS陀螺
仪都利用振动机械元件(检测质量)来感知旋转，通过感知由科里奥利(Corio
lis)加速度引起的同z一结构的两种不同振动模式之间的能量转移来实现。
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