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本文标题:"斜率误差可直接测量得到或从干涉条纹中计算"

新闻来源:未知 发布时间:2018-5-26 1:54:27 本站主页地址:http://www.jiance17.com

斜率误差可直接测量得到或从干涉条纹中计算

    斜率误差直接取决于波阵面的形状.而不是其相位。因
此,当TWF和RWF的值与波纹度的空间频率无关时,斜率
误差与波纹度空间频率成正比。
    斜率误差可以直接测量得到或从干涉条纹中计算出来。
斜率直接测量法对相位不敏感,但比采用干涉测量法更快
捷、更便宜。
    系统误差的评测相对简单,因为
每个因素的误差贡献可以通过和方根(RSS)方法进行分配。
    传统的全口径光学制造方法产生较少的波纹度,这导致
子孔径的加工方法也相当有保证.如磁流变抛光(MRF)、射
流抛光、柔性抛光或单点金刚石车削。由于这些加工设备的
使用越来越普遍,斜率测量仪器也广为人知,非球面偏离量
也在增加,我们期望在车间能有更多斜率公差可供参考。
    空间频率带宽的选择是相对的,它必须始终与测量仪器
的测量能力相匹配。

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