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本文标题："光学制造条纹不能称为光学要素分析仪器"
新闻来源：未知 发布时间：2018-5-21 22:01:56 本站主页地址：http://www.jiance17.com
光学制造条纹不能称为光学要素分析仪器
干涉仪
在众多类型的干涉仪中．斐索干涉仪已成为光学制造领域典型
的干涉仪。在过去的几十年中，商业测量仪器取得了巨大的进步，
包括相位测量仪器、球面参考测量、条纹计数距离测量、数字成像
测量以及测量分析软件。角度和长度测量可以进行特定仪器的集成
，比如拼接测量算法拓宽了数值孔径、尺寸和非球面偏离量的限
制。
事实上．测量的基础并没有改变，但通常会被误解：每个光学
技师都认为“一个条纹为半个波长”，这种说法既不能称作对．也
不能称作错，只是不全面。当被测表面的面形发生了半个波长的变
化．测试波前传播的物理距离包括入射和出射。那么在干涉平面上
的累积光程差就为一个波长．其表现为一个干涉条纹变化。因此，
当使用商业干涉仪测量时，必须使用正确的比例因子。
一个条纹间距总是代表干涉平面的一个波长的光程差。
条纹不能称为光学要素(组分)．它只是两束波前经过不同光程
的干涉现象。
这一点主要是为了说明．并不是每个测试装置垂直入射时在返
回干涉平面之前都会两次经过被测面(或折射波前)。因此，我们必
须对光学路径进行追踪．计算在每个相遇点的光程差，然后计算出
光程差对应的条纹数。
虽然峰谷值(PV)的测量和这一测量参数仍然是最常见和最好理
解的，但是它们并不能与光学性能很好地联系起来，主要是其没考
虑到倾斜误差或者整个被影响区域。
干涉装置
下面是利用斐索干涉仪的常见测量装置的范例，其中彩色部分
是被测项，其左侧是斐索干涉仪的透射参考表面。
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