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本文标题:"采用计算机元件金属截面分析显微镜"

新闻来源:未知 发布时间:2018-5-21 22:01:41 本站主页地址:http://www.jiance17.com

采用计算机元件金属截面分析显微镜

PVr是采用计算机对36项泽克多项式进行最小二乘法拟合得到的,
并且考虑了拟合球面与实际球面的残余误差的均方根值。这个过程
给出了一个看似正确的PV值。没有假像素带来的不良结果。

    干涉条纹图
    干涉条纹看起来就像一组弯曲的地形图。中心有着相同方向的
一组弧形干涉条纹,表示干涉波前的相关半径或离焦的差异,可以
通过轻轻按压元件来辨别这个差异(凸或凹)。如果缩短干涉光程使
得干涉条纹向共有中心靠拢,说明被测波前是凹的;反之亦然。千
涉条纹的共有巾心当使用测试样板时.这个时候弯曲方向的判断是
由按压垂直干涉条纹系统斜倾面的点来确定的。如果系统中心向按
压方向移动,面形是凸的;如果远离则为凹的。两个条纹半个条纹

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