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本文标题："微机械机理-表面微加工技术分析显微镜"
新闻来源：未知 发布时间：2018-1-20 1:10:02 本站主页地址：http://www.jiance17.com
微机械机理-表面微加工技术分析显微镜
科学技术的发展使人类在探索宏观世界的同时，也在向微观世
界进军。1965年诺贝尔物理学奖的获得者、著名物理学家费恩曼(R
ichard P．Feynman)教授曾敏锐地观察到了这一领域在科学技术方
面潜在的巨大推动作用。他曾在1959年的美国物理学会年会上发表
了极富有远见且具有开拓性的重要报告，“There’SPlenty of Ro
om at the Bottom”，他在报告中预示了制造微小器具技术的出现
，可以采用大型机器来制造比自己体积小的机器，而这小的机器又
可以制造更小的机器，这是一条自上而下(Top．Down)从宏观到微
观的发展途径。同时，他还论述了人们可以按照希望的方式以原子
、分子为模块来构筑各种物质，这是一条自下而上(Bottom—Up)由
小至状的新途径。而且文中一些涉及微机械机理的观点至今仍是该
领域的重要研究课题。
微机电系统是以半导体(特别是硅)为材料，以IC(集成电路)加
工技术为手段，以固态物性传感器为背景发展起来的。20世纪80年
代中期，美国加州大学Berkeley分校、威州大学Madison分校等单
位研究出了表面微加工技术。他们以多晶硅薄膜作为结构材料，以
磷硅玻璃作为牺牲层，制成了多晶硅压力传感器、硅梁和连杆等微
机械运动部件。1987年美国加州大学Berkeley分校研制出了转子直
径为60t_Lm～120斗m的硅静电微马达，
微机电系统在继承和发展微电子技术的基础上，通过微型化和
集成化来建筑新的工作原理、新的功能、新的材料、新的结构、
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