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本文标题："多种不同微电子工艺可用来制造常见的微电子器"
新闻来源：未知 发布时间：2017-10-31 22:11:31 本站主页地址：http://www.jiance17.com
多种不同的微电子工艺可用来制造常见的微电子器
微细加工技术
现在，已有多种不同的微电子工艺可用来制造常见的微电子器
件，如运算放大器、逻辑门电路、微处理器等。其中许多工艺技术
，有时甚至是全部标准工艺，对开发、生产微传感器都是很有价值
的。例如，可以用标准双极工艺制造热微传感器，因为双极工艺制
备的p-n结二极管，其在电流不变时的正向电压，或n—P-n型晶体
管的基极一发射极间电压与温度有一定的比例关系。制造常用二极
管和热敏二极管的工艺几乎没有什么不同，主要差别是器件的设计
，或许最后的封装也有些差别。在大多数实际情况中，最理想的是
，只要可能就尽量利用标准工艺流程，或者在标准工艺流程之外，
或在线工艺中插入一到几个非标准工序。集成到什么程度，这是一
个苛刻的设计问题，所以设计者往往首先考虑混合电路的解决方案
，但其中也将借用标准微电子工艺及其封装技术。将微电子电路集
成到MEMS中去也是一个难以决断的问题，因为其最终产品很复杂。
所以本书将论述各种可能的技术途径，甚至包括首先从微电子学着
手，还是首先从MEMS着手等问题。为此在本章及以后几章中先扼要
地介绍标准微电子工艺，以及需要增加的其他非标准材料和工艺技
术。
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