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本文标题："固态层覆盖掺杂物截面分析便携式显微镜"
新闻来源：未知 发布时间：2017-6-14 1:52:37 本站主页地址：http://www.jiance17.com
固态层覆盖掺杂物截面分析便携式显微镜
在扩散过程中，规则的晶格原子被热动力平衡过程中的掺杂原
子所代替。这样对改变半导体的电子性能有作用。进行掺杂的两个
最重要的方法是恒定表面浓度扩散和恒定总掺杂物扩散。
在“恒定的表面浓度的扩散”方式下，掺杂物由“不可耗尽的
”气源供给，因此晶体外表面掺杂物的浓度，在整个扩散过程中保
持恒定。在“恒定总掺杂物扩散”方式下，晶体表面开始由掺杂物
的固态层所覆盖。可是掺杂物的供应是有限的，因为随着扩散的进
行掺杂物最后会耗尽。
在“恒定表面浓度扩散”方式下，掺杂物原子由气相供应，晶
体表面的掺杂物浓度可以调节，在给定温度下，特殊掺杂物的浓度
与其在硅中的溶解度相对应。
(a)恒定表面浓度的扩散；(b)恒定总掺杂物的扩散；(c)离子
注入
如果在硅片表面上掺杂层的厚度为dx，掺杂层的面积为A，由
于总掺杂物浓度是恒定的，并且在给定时间单元内可以扩散入固相
的粒子数目
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