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本文标题："表面微观形貌超精密制造技术的发展和制造"
新闻来源：未知 发布时间：2016-12-7 16:39:27 本站主页地址：http://www.jiance17.com
表面微观形貌超精密制造技术的发展和制造
目前，纳米机械加工的表面精度已经达到纳米量级，对零件表面质
量的测量与评价显得尤其重要。不同的超精密加工方法所获得的表面几
何质量分布是不同的，同一光滑表面使用不同测量仪器所得到的结果也
是不同的，零件的使用与其表面几何质量也同样有极大的相干性，而不
同的评价方法和表征参数也对表面质量的评定结果有一定的影响。
随着超精密制造技术的发展和制造方法的多样性，超精密纳米机械
加工表面测量与评价技术将成为制造业的研究热点，由于AFM仪器具有
的三维纳米表面特征测量的优异性能，是最适用于测量超光滑纳米加工
表面微观形貌的仪器，
对测量结果和对表面形貌的描述也最为精确。但是，目前尚没有纳
米级表面测量的国际标准及其相关的取样长度、评定长度的定义，为此
，未来技术发展中必须建立纳米机械加工的表面测量标准，以便适应纳
米表面检测的新需求，并在AFM测量软件中进行标准的更新和定义。
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