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本文标题："测量仪器的分辨力表面形貌的特征分析显微镜"
新闻来源：未知 发布时间：2016-12-7 16:39:16 本站主页地址：http://www.jiance17.com
测量仪器的分辨力表面形貌的特征分析显微镜
提供一种通过不滤波的方式将原始轮廓直接分离粗糙度和波纹度的
图形的评定方法，综合考虑了幅值和间距的影响，因此比中线制评定
方法更好地反映了表面形貌的特征。该方法不仅简单，而且适合于多种
功能特性的评定。此外，研究表叫由于表面的多尺度属性，斜率和曲率
的方差很强地依赖于测量仪器的分辨力或使用的滤波形式，因此对同一
个表面其值不再是唯一的。
表面形貌是一个不稳定的随机过程，该过程的高度分布方差取决于
采样的长度，根据这种尺度依赖性建议：具有不同分辨力和扫描长度的
仪器，对于相同的通过对表面形貌信号逐步分解，并选取适当的分界频
率对此信号重构，可以精确地确定理想的评定基准。
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