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本文标题："电子显微镜技术电子束的等效波长及数值孔径均较小"
新闻来源：未知 发布时间：2016-12-7 1:38:46 本站主页地址：http://www.jiance17.com
电子显微镜技术电子束的等效波长及数值孔径均较小
扫描显微镜表面测量技术
与上述光学仪器不同，扫描显微镜没有光学物镜，图像的观察不
是通过光学镜面，而是通过计算机图像监视器。有两种类型的扫描
显微镜，电子显微镜(Electron Microscope，EM)和扫描探针显微
镜(Scanning Probe Microscope，SPM)。
电子显微镜的基本原理较为简单：从电子射源发出的电子经多
级电磁透镜汇聚成极细小的电子束探针，之后将电子束探针入射至
样品表面从而激发出各种信号，通过对这些信号的检测处理即可实
现对样品表面的分析成像。．通常根据所检测信号的
范围，将电子显微镜细分为扫描电子显微镜(Scanning Electron M
icroscope，SEM)和透射电子显微镜(Tunneling Elec—tron Micro
scope，TEM)，机械加工样品都是大块基体，因此TEM并不适合于超
精密加工表面形貌的检测。
SEM利用扫描线圈装置使电子束探针在样品表面进行栅格扫描
，扫描的同时检测电子束所激发出的二次电子，通过二次电子的强
度与被测表面形貌的关系获得表面的扫描电子图像。由于电子束的
等效波长及数值孔径均较小，因而SEM具有纳米级甚至更高的空间
分辨率
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