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本文标题："电子束高斯平面像上形成最小弥散斑直径会越大"
新闻来源：未知 发布时间：2016-10-27 0:32:19 本站主页地址：http://www.jiance17.com
电子束高斯平面像上形成最小弥散斑直径会越大
透镜孔径半张角
扫描电镜透镜半张角是影响其电子束束斑直径的关键因素之一
．其对色差、球差和衍射效应形成的扩散斑直径都会有重要影响。
半张角越小．其色差和球差就相应越小；．在相同的束流大小和电
子枪亮度的情况下．半张角越小．电子束在高斯平面像上形成的最
小弥散斑直径就会越大．从而显著降低其最终分辨率。因此．要想
得到最小束斑直径，必须平衡各种影响。选择一个合适的半张角。
表1．1为不同球差系数和加速电压下．理论计算的最佳半张角值
。 (1)单电子激发。入射电子和固体内电子碰撞．使其发生电
离或激发到真空能级；即价电子激发和内层电子激发。受激的价电
子可以成为游离态的自由电子．二次电子中的绝大部分是由它们组
成。金属和半导体的价电子也可以从导带中较低的能态跃迁到较高
的空态．称作带内跃迁；或是从价带跃迁到导带．称为带间跃迁，
产生电子一空穴对。内层电子受激脱离束缚能，留下空穴．对具有
三能级以上原子，会或发生俄歇跃迁．发射俄歇电子；碰撞过程中
，产生价电子激发的概率远远大于内层电子激发的概率。一般来说
，在价电子激发过程中，入射电子的能量损失相对于其能量来说较
小．发生大角度散射的概率也很小，因此价电子激发不会使入射电
子的方向发生显著变化。内壳层电子激发中尽管可能有大的能量损
失，但其电离截面很小．因而使电子发生大角度散射的概率也不大
。
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