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本文标题："微加工器件的材料结构-粗糙度和反射率"
新闻来源：未知 发布时间：2016-9-26 23:35:31 本站主页地址：http://www.jiance17.com
微加工器件的材料结构-粗糙度和反射率
表面和界面
微加工器件的材料结构。薄膜与基片，以及薄膜之间的界面对结构
的稳定性非常重要。晶圆片在加工过程中要经历多次热处理，会对界面
产生不同的化学和物理作用，微结构示意图中的材料和界面
基片表面物理性能(如粗糙度和反射率)与材料和加工工艺有关。基
片表面的化学特性极其重要：很多表面覆盖了一层自然氧化膜(例如硅
、铝和钛容易在表面生成氧化层)或残余薄膜。吸附的气体和潮气均会
通过改变黏附性或成核性能而影响工艺。
厚基片并不能免于受薄膜的影响：一层几十纳米厚的薄膜可以产生
很高的应力，足以使500μm厚的硅晶圆片弯曲；或在相当适中的热处理
过程中，表面微小的铁污染可扩散穿过500μm厚的晶圆片。
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