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本文标题："通过光学精密研磨来获得较好的表面粗糙度"
新闻来源：未知 发布时间：2016-9-14 2:44:16 本站主页地址：http://www.jiance17.com
通过光学精密研磨来获得较好的表面粗糙度
第一，高反射率光学材料。制造高反射率转折镜和反射镜的材
料有铜、钼、硅、锗等。金、银、铜等金属对C02激光有较高的反
射率和热导率，能满足转折镜与反射镜对反射红外光的要求；导热
好可将表面吸收激光所产生的热量散出去，避免因光学元件过热而
使其破坏阈值提高。
铜的硬度低，不易通过光学精密研磨来获得较好的表面粗糙度
。一般将铜镜粗磨并镀镍、铬，再进行精密抛光，经镀金或红外介
质膜制成反射镜。镀金是为了提高铜镜的反射率和抗腐蚀与抗氧化
能力。红外介质膜既能增加反射率，又可保护镀金表面，遇到镜面
污染时，能进行清洁处理，从而提高其使用寿命。
钼的硬度较高，可经光学精密研磨制成反射镜。其熔点很高，
激光加工中的喷溅物不易粘附于表面，还可擦拭清洗表面污汛，在
那些温度高、易污染的加工部位可以选用钼反射镜。
硅的热膨胀系数小，硬度很高，热导率较大。经光学研磨镀银
或介质保护膜，能提高其反射率，可用作反射镜，但该材料的抗激
光破坏阈值低，使用功率会受到限制。
锗对红外光的反射率很低，全靠镀膜来提高其反射率。通过镀
膜后可以反射99％以上的红外光，剩下约1％的激光则透过基体，
由光—电元件吸收后用于监测或反馈控制激光器功率。
砷化镓材料的吸收系数小，作为基底材料抗激光破坏阈值大于
150kW／cm2。对红外光的反射率很低，通过镀高反射率膜使其对激
光的反射率达99．5％以上。可用作大功率激光器的反射镜。
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