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本文标题："工件表面凝结形成固体的涂层微电子工业分析"
新闻来源：未知 发布时间：2016-7-15 1:14:06 本站主页地址：http://www.jiance17.com
工件表面凝结形成固体的涂层微电子工业分析
在工件表面凝结形成固体的涂层。可以靠加热工件促进金属原子的
扩散来改善金属涂层的质量以及涂层—基底界面的强度。
在PVD工艺中，形成涂层的原子一般由“物理”的方法所产生
，例如蒸发或溅射。然而，如果涂层的原子是由化学反应而得到的
，则这工艺称为化学气相沉积℃VD工艺用来制备多种涂层，其应用
范围也表现在从微电子工业到表面耐磨层的沉积等多个领域。例如
，可以采用CVD工艺在工具的表面涂以硬质的氮化钛以改善其耐磨
性。把工件被放人石墨的坩埚或盘子上，在惰性气体中加热至950
—1050℃，然后将四氯化钛气体、氢气与氮气通人腔体，由化学反
应得到的氮化钛就会在工件的表面产生涂层。
热浸镀是一种将金属涂以其他高熔点金属表面的涂层工艺。该
工艺是把工件简单地浸入涂层材料的熔池之中。热浸镀的一个常见
的例子是钢板镀锌，镀锌的钢板称为镀锌钢，它可用作管道，螺丝
与钉以及汽车车体等。
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