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本文标题："精密机械全息光栅制造技术的应用-分析仪器"
新闻来源：未知 发布时间：2016-7-7 17:23:34 本站主页地址：http://www.jiance17.com
精密机械全息光栅制造技术的应用-分析仪器
全息光栅制造
全息法和刻划法常瞻光栅是相互补充的两种工艺。全息法制造光栅
的主要优点是：摆脱了对精密机械的要求，不需要严格的恒温环境，全
息光栅无鬼线，刻划频率可做得很高，能提供可见光到远紫外的光栅，
特别适用于凹面光栅的制造，但全息法制造衍射光栅时，由于其槽形不
易控制，因此控制闪耀的性能较差，效率也较低，因此全息法较适用于
高密度光栅(刻划密度高困难较大)及凹面光栅的制造。
全息法制造光栅就是将双光束干涉所形成的干涉条纹记录在光敏层
上，经过适当的化学处理，得到如经典光栅相似的等间距的平行线条。
一全息光栅的质量取决于这些线条的直线性，平行性及节距的准确度，
而全息光栅的效率还取决于这些线条的槽形。 全息光栅虽然摆脱了刻
划光栅的一些弱点，但在制造中也存在着不少困难，例如激光频率如何
稳定，激光管功率如何增大，还有光致抗蚀剂的频谱响应和涂布阀题等
。图像数据处理的核心在于初始码与变形码的比较。我们假设，变形后
的码绝大多数仍保持原值，仅极少数码发生了差错。只要简单地剔除那
些发生差错的码，就能对物体表形状有一个总体的了解。错码的剔除是
通过比较初始码与变形码而实现的，这一部分的流程如图9—24所示。
编码光栅调常l法因光栅自身携带了线纹序号信息，因而具有其他
方法所没有的一些特点：一是确定栅序所需的测量程序和计算量都大为
简化，从而大大提高了测量速度，二是可用于测量阶跃表面的轮廓形状
，因而更符合于工程应用的实际情况。
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