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本文标题："物镜和被测表面-显微镜物镜有足够长工作距离"
新闻来源：未知 发布时间：2016-7-3 21:18:05 本站主页地址：http://www.jiance17.com
物镜和被测表面-显微镜物镜有足够长工作距离
由一个物镜、一个分光镜和一个独立的参考平面组成。为了能
够在物镜和测试表面之间放入分束器，显微镜物镜必须有一个足够
长的工作距离。正因如此，迈克耳逊干涉仪只能与放大倍数低、数
值孔径小且工作距离长的物镜一起使用。
在物镜和被测表面中间有两个小玻璃板。一个板上有一个小的
反射点用作参考面，另一个在其一侧镀膜作为分束镜。包含反射点
的小玻璃板还可以作为一个补偿板。这种干涉仪结构是在物镜的放
大率中等、没有足够的空间插入分束棱镜来构成迈克耳逊干涉仪时
采用。米劳干涉仪对于放大倍数低于10倍的物镜来说并不实用，因
为在低放大倍数时参考点过分遮挡了孔径。参考点必须要大于物镜
的视场，因为它是一个与被测对象最佳焦平面共轭的面。当放大倍
数在50倍左右时，物镜的工作距离就会太短而不能在其下方放置分
束器或者平板。
通过两个相同的明场物镜，可以用任意放大倍率的物镜来装配
干涉仪。尽管如此，这类干涉仪调整起来也很困难，所以其商业用
途有限。林尼克干涉仪通常与一个具有高放大倍数、短工作距离的
物镜一起配套使用。一个林尼克干涉仪由一个分束器、两个相匹配
的显微镜物镜和一个参考镜组成。整个参考臂提供合适的路径长度
以便获得干涉条纹。为了获得最大条纹对比度和最小波前畸变，两
个物镜必须与分束镜相匹配。
以上讨论的三种物镜都是通过迈克耳逊干涉仪演变而来的，都
属于等光程干涉仪。
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