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本文标题："表面检测中准确度和精度计量粗糙度轮廓仪"
新闻来源：未知 发布时间：2016-7-3 21:17:54 本站主页地址：http://www.jiance17.com
表面检测中准确度和精度计量粗糙度轮廓仪
确定系统性能的术语和问题
所有的轮廓仪都需要进行仔细的标校，尤其是在测量诸如MEMS
系统这样的微小对象时。不同外形的系统，其性能都是利用一些典
型对象来进行标定，这些典型对象都可以在一些最基本的标准下给
出了确切的测量值。
最为常用的一个典型对象是台阶，例如一个台阶对象用来进
行垂直方向扫描的校准，同时一个刻蚀的二元光栅元件常用于标定
横向放大率。其他的典型对象，如正弦型光栅或者不同粗糙度的表
面也用于系统性能的校验。统提供的参考值进行比较是没有意义的
。
在确定系统性能的同时，测量中还有两个非常重要的问题，分
别是重复性和再现性。一般而言，重复性定义为在不改变系统的前
提下，短时间内对测量对象的一个参数进行多次测量得到的1盯标
准偏差。再现性是指在不同的测量条件下在一段较长时间内多次测
量的结果分布。对一个系统的评价其实就是针对一个测量对象确定
参数的重复性和再现性。检测的程序和给出的评价值应该给出清楚
的说明，并为使用者和厂商认可，这也是很重要的。
在表面检测中有两个容易混淆的术语：准确度和精度。准确度
是指测量值与真值之间的接近程度(如一个典型对象的测量值)。精
度则指测量的分布状态，也可以用重复性和再现性来表述。
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