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本文标题："扫描探针显微镜测量速度低横向分辨率则高"
新闻来源：未知 发布时间：2016-7-3 16:49:25 本站主页地址：http://www.jiance17.com
扫描探针显微镜测量速度低横向分辨率则高
扫描探针显微镜和探针轮廓仪，然后围绕着近十五年来发展起
来的、在商业和工业上得到应用的光学技术进行了详细的介绍。这
部分内容包括单色光及白光照明干涉显微镜，白光和多波长技术也
常常应用于其他测量方法，比如散斑、全息及条纹和结构光投影过
程。最后还针对光学测距技术和偏振干涉仪作了简短的评述。接触
式轮廓仪
探针轮廓仪和扫描探针显微镜，通常都称为接触式轮廓仪或者
触摸式传感器，因为它们都是使用一个探针来对测量对象的表面进
行扫描。现在，施加在探针尖上的力已经非常小了，以至于很难再
将其称为接触式仪器。这类仪器的测量速度很低，横向分辨率则相
当高，不过一般来说低于光学显微镜。作为最早得到发展的探针轮
廓仪，其制造成本不高，也便于使用，因此在许多机械和光学车间
中作为标准配备。扫描探针显微镜的发展要相对晚一些，但是由于
其具有亚纳米量级的纵向和横向分辨率，现在该设备在实验室和半
导体及微机电系统(MEMS)工业中已经被普遍使用。测量大口径元件
的剖面可以使用较大探针坐标测量仪，该仪器能够在扫描模式下工
作。
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