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本文标题："高速计算机和固体器件为代表的新技术表面轮廓仪"
新闻来源：未知 发布时间：2016-7-3 16:49:13 本站主页地址：http://www.jiance17.com
高速计算机和固体器件为代表的新技术表面轮廓仪
表面轮廓仪介绍
以高速计算机和固体器件为代表的新技术得以发展，同时针对
越来越小的工程表面进行精确检测的需求也日渐增加，在这些因素
的推动下，表面测量技术无论在技术成熟方面还是应用范围方面都
得到了极大的发展。先进的照明光源，例如激光，以及通常使用的
固体探测器和光电器件也对这一技术的发展起到了推动作用，使之
不但能够用于描述表面形貌，而且能够用来确定诸如位移、散射等
的一些其他特性。一些创新性的技巧和技术使得测量对象的范围得
到了很大的扩展，因此针对那些高陡度、大台阶及深窄沟道的难度
很大的面形也可以进行测量了。这些表面轮廓技术很多是由距离测
量或焦距测定技术发展而来的，同时它们也往往需要进行扫描来获
得面形轮廓。本章将介绍探针轮廓仪、扫描探针显微镜、共焦显微
镜及干涉光学轮廓仪。这些仪器都被广泛应用于表面面形的测定，
而且既适用于极小的典型工程表面，也适用于非球面和玻璃平板这
样的光滑大面形检测。
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