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本文标题："表面检测的悬臂工件检测工业显微镜"
新闻来源：未知 发布时间：2016-5-21 0:16:28 本站主页地址：http://www.jiance17.com
振动扫描方式
振动扫描(VS)方式应用探针系统获得表面形状，在探针和
物体之间应用电子接触原理。众所周知电子接触式检测再现性精度
不高，因此这种类型的检测不能用于尺寸测量。在几个例子的应用
中发现，工件只能安装在中等精度的机床中。
振动扫描方式和传统的电子接触方式之间的不同是，振动扫描方式的应用来
源于接触探针振动的间断接触。
振动扫描方式的基本原理。用于表面检测的悬臂在较低频
率下振动，目的是避免机械共振。振幅被调节到大约2μm。当悬臂
接近表面时，其顶端与表面间断地接触。此接触产生一系列的矩形
波作为输出。探针移动和输出信号间的关系。脉冲的持续时间根据
振动中心与表面间的距离，或探针位置的X坐标的变化而变化。如
果探针的位置被控制，以保持不变的输出工作循环，例如，50％，
当探针在纵向或y方向运动时，振动的中心也就沿着物体表面的曲
线移动。储存探针在X，y方向的数据就相当于储存物体表面曲线的
数据。
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