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本文标题："全反射和穿透力的高能X射线用于测量涂层厚度"
新闻来源：未知 发布时间：2016-5-19 19:27:09 本站主页地址：http://www.jiance17.com
全反射和穿透力的高能X射线用于测量涂层厚度
切线入射X射线反射计
1923年康普顿首次提出x射线从固体样品平的光滑表面全反射，这是X射线
镜面反射试验技术诞生的标志。因为入射角非常小，几乎和表面平行，利用X射
线完全反射进行的测量也称为切线入射试验。如果表面不是理想的平滑，有点儿粗
糙，x射线会向各个方向漫反射。这个试验技术称为X射线漫反射(X射线非平面
反射)。在1963年，YONEDA首先提出之后，此技术立即开始发展。YONEDA报
道了X射线漫反射的强度调制。被称为YONEDA翅膀式不规则反射。
目前，基于全反射的X射线反射计，成为表面和薄膜分界面分析的一个强
有力的工具，并将进一步发展。这主要是由于试验技术和手段的重要发展，尤其
是同步加速器辐射线的出现和探测技术的发展。在理论模型和试验数据分析技术
上的进展也是很重要的。
具有全反射和穿透力的高能X射线用于测量涂层厚度。通常X射线的折射
率指数小于1，如果入射角比较小，x射线穿透只能达到一个小的角度，即临界
角。如果入射角进一步减小，在分界面发生表面全反射，称为光束镜面反射。在
涂层一衬底系统中，一部分辐射被反射，而另一部分穿透薄膜。在空气一涂层和涂
层一衬底分界面处有两个全反射角。两部分干涉光线形成干涉。表面粗糙度和光
学涂层及感光衬底层材料的密度，影响干涉成像的结果。如果感光衬底层材料的
折射率小于涂层材料的折射率，可获得最清晰和高密度的图像。
x射线反射技术的主要限制是，波矢传递范围是有限的，反射振幅相位会有
损失。不过在研究双层样品厚度和粗糙度时，其精确度大概是0．2nm。
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