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本文标题："微型化、集成化、智能化并与新技术便携显微镜"
新闻来源：未知 发布时间：2016-5-12 1:27:30 本站主页地址：http://www.jiance17.com
微型化、集成化、智能化并与新技术便携显微镜
传感器指能感受规定的被测量并按照一定规律转换成便于测
量的输出信号的器件或装置，一般由敏感元件和转换元件组成。微
传感器(Micro—sensor)是微机械的重头产品，在已开发的微机械
产品中，微传感器占到90％。微传感器的体积小、功耗低、响应快，
便于和信号处理部分集成以构成微传感器测试系统，这些特性使
其可以应用于汽车、航空航天、电机、医学、家用电器、生物化学、环
境监测等广阔领域。
微传感器的出现和广泛应用是微电子制造技术向半导体技术
扩展的结果。这些技术包括光刻、薄膜镀层、化学和离子加工等。它
们使得传感器结构得以微型化，从而能在同一表面上制作大量的
传感器，然后批量生产。
第一个微传感器是在硅上镀膜再经化学加工并与电子线路集
成的压力微传感器。目前这项技术已有五六十年的发展历史，许多
集成线路制造商对其进行了工业开发，并把相关产品用到汽车上。
另外一些工业化生产的微传感器产品，包括在硅或石英上制作的
霍尔效应(Hall Effect)探头、加速度计、力传感器以及化学传感器
等等。
传感器的发展趋势是微型化、集成化、智能化并与新技术、新
材料的发展不断融合。基于硅的微传感器与电子线路集成是一个
重要的发展目标，这不仅可以使整体尺寸更小，而且能够大幅度降
低生产成本。目前在一些专业领域，光学与机械的功能结构逐渐趋
于集成，例如色谱分析仪等正在把光学微结构与检测器件集于一
体；生物医学上也需要生物微传感器与机械执行器(如微阀、微泵
等)的集成来检测输入量与血流量。
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