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本文标题:"物理量测量微机械制造技术-微观显微镜"

新闻来源:未知 发布时间:2016-5-12 1:27:18 本站主页地址:http://www.jiance17.com

物理量测量微机械制造技术-微观显微镜

物理量测量
  
      微薄膜材料的力学性能,如残余应力、弹性模量、抗拉强
度和断裂韧性等,是决定微机械特性的重要参数。微薄膜与块材有
着不同的力学性能,人们对其力学性能所知甚微,常规的方法难以
测试微薄膜的力学性能,但可以考虑利用谐波频率法。

残余应力测量

    在微机械构件制造过程中,会在构件内留下残余应力。因残
余应力的作用,利用微机械制造技术制作出两端固定梁,将受轴向
力作用。设均值等截面的两端固定梁所受的轴向应力是均匀分布的
、各部位是相等的。

测量与结果
  
    测量悬臂梁和两端固定梁的一阶谐振频率,从而求其弹性模
量和残余应力。谐振频率的测量系统中,被测固定梁固定在电极上
方,在电极与硅梁间施加正弦电压,使电极与硅梁间产生静电引力
,使硅梁产生振动。把激光聚焦于悬臂梁的自由端或两固定梁的中
间,用光电二极管接受硅梁反射来的光束。使光电二极管的受光面
与反射来的光束的光斑部分相交,硅梁上下振动时,光斑与受光面
积也对应地增减,输出的电压也随之增减。硅梁振幅越大,输出的
电压越大。调节加在硅梁与电极间的驱动电压的频率,输出电压的
振幅极大时的频率为梁的一阶谐振频率。

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