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本文标题："热作用可引起仪器各部分的不均匀受热,测量显微镜"
新闻来源：未知 发布时间：2015-9-18 10:26:41 本站主页地址：http://www.jiance17.com
热作用可引起仪器各部分的不均匀受热,测量显微镜
为了消除振动的影响，干涉仪基本元件的连接刚性必须
相当高，以保证元件的间距变化不超过0．03μm．按压壳体
时，允许干涉条纹出现显著偏移，但减压后干涉条纹必须返
同原始位置，误差不超过0．05个干涉条纹．为减小干涉仪对
振动的敏感性，得将仪器装上减振器．
热作用可引起仪器各部分的不均匀受热，致使干涉条纹
偏移．为此，、最好将干涉仪的各部件相互配置得愈近愈好，
并以一共用的绝热罩绝热。光源应离开仪器相当远，其功率
必须是最低限度的．必须在接通照明器并使干涉仪温度稳定
达1—1．5小时后才可开始精密测量．
在对干涉仪进行调整和用来工作时，仪器的主要元件必
须移动方便、可靠和足够准确．后一项要求与刚性要求有所
矛盾，因此，在设计时必须探索满足共同要求的最佳结构方
案．
制造厂对仪器进行基本调整，以保证在运输中原调整情
况保持不变为度，这样，就可以使问题局部解决．在使用过
程中则仅调整规定间隔与倾角的干涉条纹，并且，仅在个别
情况下才改变干涉条纹的定位．
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