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本文标题："磨粒较小抛光划痕深度计量多功能显微镜"
新闻来源：未知 发布时间：2015-8-4 18:37:07 本站主页地址：http://www.jiance17.com
磨粒较小抛光划痕深度计量多功能显微镜
Samuels关于磨削的研究展示出一幅复杂的变形图样。他的研究表
明有一外部碎裂区，其中晶体结构被破碎成许多互相粘连的小结晶
状亚晶粒。该区外观和严重塑性变形区一致，类似重度冷轧时产生
的挤压组织。在该层以下，金属变形较少且不均匀，集中在表面划
痕下的条带或射线形区，。无论划痕或损伤深度均随磨料粒度的减
小而变浅。因此，磨光和抛光工序之间，必须将以前每道工序造成
的变形仔细去掉。看来，研磨和抛光速率通常随磨料粒度减小而放
慢这——事实，使问题复杂化了。因此，金刚石磨料在去除磨削损
伤的最后残余方面所显示的高效率，!其重要性可知。
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Samuels又证实磨削和抛光均产生相同的基本现象：即产生划
伤和沟槽、金属切削、以及塑性变形层。其差别仅在于此三类
特性的程度。Samuels的结论是磨削和抛光的机理是一样的。前述
有关磨削性质的讨论同样适用于抛光。加在一个特定尺寸的抛光磨
料上的负载决定划痕的深度和宽度，而迎角则是决定切削还是开槽
的原因。一般加在抛光磨料上的负载低于磨削磨料，而且磨粒较小
；所以，抛光划痕浅而窄且损伤深度不大。
抛光和磨削的主要差异在于支持磨粒的方式。Samuels曾提出
磨粒翻滚着同试样接触，产生开沟作用。运动一阵之后，颗粒
即嵌入织物纤维中，此时是切割还是摩擦表面则决定于迎角大小。
织物纤维的弹性可保持磨粒接触试样。因此，抛光磨料并不是严格
地固定就位，且其接触压力比磨削时低得多。Richardson和Brose
C353从金刚石粉抛光的动态观察证实了这一理论。Richardson等人
观察用过的织物发现，织物(尼龙)纤维在金刚石抛光时普遍的擦伤
磨损，证明纤维同磨料之间有相当大的相对运动
这种抛光机理的机械作用观点已由Aghan和Samuels证明，适用
于所有粒度的抛光磨料。但是，某些在乳化液中加人悬浮液或
浸蚀剂的场合，将对抛光过程起重要作用而产生更高的切削速率。
Samuels的结论是，磨料起擦去表面生成的保护膜的作用，并把这
种作用当作是“擦拭化学抛光”的机理。抛光所产生的塑性变形表
层与磨削过程中产生的相类似，但深度要浅得多。在磨削时，
变形是不均匀的，并且集中于划痕下面，它是造成浸蚀后抛光划痕
重现和表观上扩大的原因。
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