---
---
---(点击查看产品报价)
本文标题："用于测量金属的和其它材料的表面加工痕迹的显微镜"
新闻来源：未知 发布时间：2015-7-26 16:56:35 本站主页地址：http://www.jiance17.com
用于测量金属的和其它材料的表面加工痕迹的显微镜
干涉显微镜是用于测量微观不平度的干涉仪，或用于测量
金属的和其它材料的表面加工痕迹的干涉仪。如像在检查表面形
状那样，按干涉条纹的弯曲量来测量微观不平高度。而用于测量
表面微小不平高度的光学仪器应具有高放大倍数和分辨率。因此
干涉显微镜实际上是干涉仪(通常是迈克尔逊干涉仪)和显微镜
的结合。
装在生物显微镜上的一个套筒，有一个显微物镜装在干涉仪的外
面，放大倍数不大(至200倍)。仪器的第二方案已经采用两个显
微物镜，分别装在干涉仪的两支光路中。这样，可采用大孔径的
物镜，并得到较高的放大倍数至500倍)
显微物镜孔径的作用 为了分辨出被检表面的狭窄痕迹(宽
度小于1微米)，仪器的放大倍数应不低干500倍，而物镜的孔
径要尽可能大。但是，大家知道，于L径增大，干涉图样的对比度
就降低，干涉条纹的分度值就增大，也就是干涉显微镜的灵敏度减
小。
当仪器的分辨率不起主要作用时(例如在测量阶梯高度时)，
公式才是正确的。但是在测量窄刻线的深度(特别在表
面微观峰谷的夹角很小时)，物镜孔径越大，越接近于真实深度，
因为当用小孔径物镜工作时，有些划痕的底部“模不到”。在
这种情况下的测量误差与物镜的孔径、刻线的轮廓角和其他一些
因素的相互关系还研究得不够。
孔径的作用有定性的解释。在大孔径
物镜和小孔径物镜两种情况下，同样一条刻线得出不同的干涉条
纹。在这两种情况下，干涉条纹都复现刻线的轮廓，但是在第一
种情况下，刻线壁分离得很深，可是在第二种情况，刻线壁几乎
与其片基联成一片。可是条纹的断裂深度在两种情况大致相等。
所有资料用于交流学习之用，如有版权问题请联系，禁止复制,转载注明地址
上海光学仪器一厂-专业显微镜制造商 提供最合理的显微镜价格
合作站点：http://www.sgaaa.com/显微镜百科