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本文标题："对于长度的测量，形状及表面的粗糙度测量显微镜"
新闻来源：未知 发布时间：2015-7-24 22:41:21 本站主页地址：http://www.jiance17.com
对于长度的测量，形状及表面的粗糙度测量显微镜
当要求特别高的精度时，其中包括对于长度的测量，形状的规
格性的检核和表面的粗糙度的检核及对于反射镜小倾斜度的测量，
凡此种种测量工作中，均应用着干涉型的仪器(干涉仪)。在干涉
仪中，可采用两条或多条相干光束的干涉。有两种应用干涉方法的
可能，第一是根据干涉条带的位移，测量直线的位移。很容易以
0．1的条带宽度的精度来测量这个位移，也就是说测量平面位移的
误差达0．03微米。干涉的第二种应用是借助于标准表面来检核其它
表面的平面度。
在测量实际中，基于测量条带位移原理的干涉仪，得到最广泛
的推广。比如，根据条带位移测定用来测定水准器灵敏度的检验仪
的反射镜倾角。该方法的实质就是以光波长度根据测量直角三角形
小直角边来测定小的倾角。
垂高计的工作原理是利用望远镜依次照准被测量构件的起、末
两端，将被测构件的尺寸和垂高计的作业尺进行比较。：任何垂高计
的原理图都是由下列基本构件组成：沿导轨移动的照准设备(通常
这种设备是望远镜)，望远镜整平设备(借助于水准器或液体水平
及自准直仪)、作业尺(分划尺)和读数设备(显微镜、锥形体和
放大镜)。
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