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本文标题："应用于检查微细的缺陷的多功能工具图像显微镜"
新闻来源：未知 发布时间：2015-7-22 14:25:37 本站主页地址：http://www.jiance17.com
应用于检查微细的缺陷的多功能工具图像显微镜
利用特征提取的检查
进行缺陷检查时，不仅检查微细的缺陷，而且有时还要检测川
不正常的形状。通常为识别出图形的形状，要事先记忆住标准的围
形，再通过与输入合形相比较来检测出不良的形状．这时，为了一
次记忆住输入图形需要容量比较大的存贮器，这是一个缺点．与之
相反，对于只求得输入图案的面积和轮廓长度就能检查不良形状的
情况，只用很少的存贮器即能运算，因而可以做成廉价的装置．利
用而积和轮廓长等特征识别形状的方法已被应用于白血球的自动分
类系统
现在来说明一下利用面积和轮廓长自动检查二极管芯片形状的
例子．二极管芯片的形状表示在图4．32中．它是在直径为1．4mm
：厚度为0．3mm的硅圆片两面上蒸镀铝膜的基片．所谓二极管是在
该基片的两丽焊上铝丝，做成共晶合金并使之具有整流作用的：卜
寻体元件，是应川于几乎所有电气产品中的重要器件．其缺陷如该
图所示，有铝膜脱落，芯片本身的破损或变形等几种
极管芯片和缺陷举例变形
缺陷的检测原理表示由于镀铝层是微细颗粒的集合，因此从45
。的方向以平行光照射二极管芯片表面时，由于在铝膜部位产生漫
反射，漫反射光的一部分入射到物镜中，形成明亮的像．另一方面
，由于没有铝膜的部分露出了硅片的平滑表面，因此，照明光沿45
°方向反射，而不入射到物镜，于是形成暗像．这样，若只检测出
明亮的像，则可以检测出镀有完整铝层的
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