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本文标题："光源如果是用特别稳定的激光精度可达到0.5微米"
新闻来源：未知 发布时间：2015-7-16 20:04:37 本站主页地址：http://www.jiance17.com
光源如果是用特别稳定的激光精度可达到0.5微米
激光干涉测长仪
光源如果是用干涉特性特别稳定的激光，就可以得到大的光程
差，能得到明显的于波条纹，激光的波长为0.6328μm。
用激光干涉方法是可以高灵敏度来测长，这是有利之处，然而
由于测长范围大所以对温度变化、气压变化比较敏感，这是要注
意的，测量1米的物体时精度在几微米，如对外部的影响特别注
意时，其精度可达到0.5微米以下，激光干涉仪的主要用途在对
磁标尺的刻度间隔或精度传动丝杠的螺距进行测量，还可以用在
对机床的工作台、测量仪的移动台等移动量的检测。
干涉测微计
采用迈克尔逊干涉原理的-黑田干涉测微计的结构原
理，由镜和测头上面的镜，反射来的光相互干涉，利用目镜来观
察干涉条纹，首先测量量块，主要是用于要求高精度的尺寸，分
度值为0.1μm，指示范围为+6μm。
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