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本文标题："测量速度和精度显微镜的放大倍数所决定"
新闻来源：未知 发布时间：2015-7-13 20:30:20 本站主页地址：http://www.jiance17.com
测量速度和精度显微镜的放大倍数所决定
测量装置
安装在车床上的高速测量粗糙度的装置，放在操作者位置的对
面，光轴所在的面呈水平方向，且包含被切削材料的轴心，从右
方向聚焦激光光束，用它照射被切削的表面，用左边的显微镜放
大该光点象，并在荧光屏上成象，所投影的象通过依次相间25μ
m的256个光电二极管组成的阵列检测出来，测量速度和精度由阵
列的同步脉冲频率及显微镜的放大倍数所决定，当同步脉冲频率
为5MHz，显微镜的放大倍数为20倍时，该装置可达到下列性能指
标：频率特性为10KHz，分辨率为1μm，线性宽度为100μm。
从阵列的一端开始同步脉冲扫描，同时开始脉冲计数，视频脉
冲到达光点象位置后，每来一个脉冲一个数，当视频脉冲计数结
束时，将与光点象中心相对应的单元位置用数字量显示出来。
用于非常精细表面的粗糙度测量的光学和数字方法，表面干涉
条纹图样的等密度照片被视频扫描，其信息存储在256X512(或51
2X512）点距阵电路中，信息进一步变换成用相应的灰色值表示
的数字形式。
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