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本文标题："扫描电镜的显微图象或者是光截面的图形测量显微镜"
新闻来源：未知 发布时间：2015-7-12 21:22:46 本站主页地址：http://www.jiance17.com
扫描电镜的显微图象或者是光截面的图形测量显微镜
——为修正超差的零件，在制造工艺方面会引起多大的变革？
本文中得出的论点将协助工程师在回答这些问题的前三点时，
提供一个正确的选择，后两个问题也同样重要和有意义，但是这
里交示讨论，因为仅回答这些问题就要深深涉及某个特有的零件
和工艺过程的细节。
1、一台测量仪器或转换器可以把表面形貌变换为某种形式的
、供数据处理用的图象，当转换器的灵敏元件扫过校验样板表面
的栅格纹路时，所获得的现今最通常的图象形式是一个电压信号
，然而，图象形式同样也可能是一个干涉图形，一个扫描电镜的
显微图象或者是光截面的图形。
2、分析装置用于处理表面的图象，以便能表示形貌的特征或
用简便的方法展示形貌。
3、数据显示可包括从简单的模拟指示计延伸到复杂的计算机
绘图终端——能显示表面形貌的等距三维影像图或其特性曲线。
触针式仪器在实际应用中有相反的特点：它必须和表面接触、
校验困难，但是数据分析容易并且直截了当。
为了推进精车加工过程的自适应控制，必须在与加工过程有关
的数据测取方面取得重要的进展，因此，必须解决与合适的传感
器的设计和改进有关的许多问题，本文探讨了用光学纤维传感器
在精车加工过程中测量表面粗糙度的可能性，并简要地描述了传
感器的工作原理。
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