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本文标题："采用电子为光源的电子显微镜较光镜放大倍数大10万倍"
新闻来源：未知 发布时间：2015-7-3 14:04:17 本站主页地址：http://www.jiance17.com
采用电子为光源的电子显微镜较光镜放大倍数大10万倍
理论上采用电子作为光源的电子显微镜较光学显微镜放大倍数大
10万倍，但由于种种原因，实际上只大几百倍。
1、SEM和TEM工作原理
与光学显微镜的物镜、目镜对应，电子显微镜的物镜和目镜分
别为电场和磁场透镜。
电子射到样品表面时产生多种粒子，通过检测不同粒子得到不同
信息，如测定光电子功能，可得到结合能数据，SEM是研究二次电
子成像的一门技术，所谓二次电子是指入射电子轰击样品后，激发
原子的外层电子面归射出来，它的能量较小，仅在0-50V之间，并
且来自样品表面5-10nm的区域。像的衬度取决于样品表面起伏状态
和元素组成，因此可用于观察表面形貌，由于立体感强、分辨率高
、制样简单，应用十分广泛，TEM有基本原理是入射电子穿透薄的
样品，让这部分电子成像，即可得到透射电子像，选择适当条件还
可使透射电子产生衍射斑点，由此可计算晶体手晶格常数。
由于TEM的样品要求穿透电子，因此应尽可能薄，其制样复杂一
些，主要有铜网-火棉胶法、超薄切片法、金属薄膜法、真空喷镀
、电解沉积、化学沉积。此外还有复型法，就是用一片对电子束透
明的薄片，将要观察的金属表面的浮雕“印”在薄片上，把印有浮
雕的薄片拿到电镜内观察，这个薄片称为“复型”。
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