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触针形状与针尖半径:实际情况表明,工件表面粗糙度形成的角度不小于150°。
因此,触针针尖的角度一般要求90°或60°为了耐磨,触针一般用金刚石做成。
为了能磨尖,
故按金刚石晶体形状作成90°的棱锥形,但也有作成圆锥形的。
针尖半径的大小将直接影响仪器的分辨率。
从分辨率出发,越尖越好,但无穷小的针尖,既造不出来,又保持不住,
而且太尖了也会划伤工件。实验室用高精度仪器的针尖一般为2μm和1μm,
车间用仪器为5μm和10μm左右。针尖是否有崩尖或磨损现象,
若要仔细地检查,可采用扫描电镜。对于装在传感器上的针尖,
可用“刀片法”进行检查。
所谓刀片法,就是把尖刃(刀剑半径0.2 μm左右)刀片夹于块规内,
让刀刃露出一些,用仪器对其进行测量,画出其1000×1000倍的放大图形,
然后根据此放大图形来评定针尖半径。
使用中应注意的问题
1)电源在接入仪器之前,首先应确知电源是否为220 V、50Hz,以免发生损坏。有些地
区供电不足,电压在200 V以下,这时最好用调压器将电压升起来,以保证仪器的正常工作。
2)由于电感式传感器只有在触针处于平衡点附近的一定范围内才能正常工作,所以测
量时要注意指零表在整个测量期间都处于指示范围内。很多操作的手续都是为了保证这一
点,例如工件被测面应与底座面平行等。
3)测量短工件或台阶面时,要注意避免传感器在行程的末尾掉下台而碰坏。
4)测量小工件时,要用橡皮泥挡住,以免工件衲传感器拖走而产生很大误差。仪器的
导头要擦干净,否则将划伤工件。
5)在进行高光洁度测量前,先用最高灵敏度档掏一下光玻璃看虚假信号是否在1.5小
格以内。若过大,则应检查环境有否振动并采取相应措施。
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