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本文标题："电容式测微仪测量表面粗糙度原理的定制设计"
新闻来源：未知 发布时间：2015-6-26 12:34:18 本站主页地址：http://www.jiance17.com
电容式测微仪测量表面粗糙度原理的定制设计
电桥式电容测微仪的主要缺点是易受杂散寄生电霍：以及电缆电容
的影响，使仪器不稳定，有较大的测量误差。这种测量原理只能用
在传感器本身的电容量及其变化量都比较大的场合。
随着电子技术的发展，电缆驱动技术的出现，使得电容测微技术有
可能克服上述缺点，从而研制成新的高精度和高灵敏度的电容式测
微仪。运算式电容测微仪可以在很宽的范围内精确地测量微小相对
位移和10一2000Hz的振动幅值。表面粗糙度的概：念及表征参数加
工后的零件的实际表面，、并不是绝对理想的，而是有着各种不同
节距的峰谷起伏。
一般可以把零件实际表面对理想表面的偏差按起伏的节距大小分为
微观不平度、波度与宏观几何形状误差
微观不平度就是表面粗糙度，有时也称光洁度，其粗高与粗距都很
小。波度是一种周期性的起伏，它的波距比波高大得多。宏观形状
误差就是一般所说的直线度、平面度、圆度等等，它的波距很大，
在一个表面上只有几个起伏，甚至不呈周期性变化。零件表面粗糙
度，对机器或仪器的性能、寿命、可靠性等均有很大的影响。具体
地说，它与零件表面的使用特
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