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清除表面粒子可用两种方法:用压缩空气吹;用水或
隋性溶剂快速冲洗。清除这种粒状物质的难度,与日常清
扫汽车相似,即使高速行驶,汽车表面的粒状物质也只是
小部分被“吹掉”。或许这种比喻不怎么恰当,因为在汽
车表面沉积了一层趋于增加粘附力的有机膜,当然在硅片
上也是沉积了一层有机膜。如果有人想用软管的水流(没
有肥皂的)洗掉汽车上的尘土,那么经验说明,即使水流
压力再高也达不到目的的。
使颗粒与基片产生所谓粘附的究竟是些什么力呢?对
引起粘附的力可以进行理论上的探讨。
有三种力可能影响总粘附力:
分子间相互作用力。
这种力就是已经讨论过的伦敦漂移力,即分子间力。当粒
子与表面距离约在分子直径100 倍之内时,这种分子间力
是重要的。
计算此力的因素有粒子尺寸、实际接触面积、表面粗
糙度、粒子和表面的化学成分。
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