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本文标题："微电子器件制造鉴别和定量测定工业金相显微镜"
新闻来源：未知 发布时间：2015-6-22 1:44:43 本站主页地址：http://www.jiance17.com
微电子器件制造鉴别和定量测定工业金相显微镜
对污染物的鉴别和定量测定，这是控制和排除污染的
首要问题、我们必须了解杂质的来源及其对产品制造的影
响。用化学分析测定杂质的数量、特性、存在形式和分布
方式。因此，对从事微电子器件制造和工厂环境控制人员
来说，必须深刻理解这个问题的重要性。尤其在微电子学
中，材料的研究是以微量污染为中心的。由刁：可供分析
的试样有限，通常，采用既灵敏又精密的高级仪器进行检
验。根据微电子学的基本方法，本章主要讨论检验分析问
题。
检验方法
解决污染问题有两种方法：一是从产品的专门研究，
鉴别污染杂质；另一是从综合研究已知污染物，分析产品
存在的问题。在第一种情况，首先要区别“合格”和“不
合格”试样，并用理论和经验分析产品存在问题的原因，
可以用放大系数小的晶体管作为例子。将制造晶体管的硅
材料作比较：“不合格”试样含金0.05ppm ，而“合格”
试样就不一样。晶体管材料加工炉是使产品污染上金的原
因之一，如果排除含有60ppm 金的加工炉污染部分，问题
就解决了
在第二种情况，必须明确可疑污染物和产品缺陷间的
关系。例如有机涂层产生聚合作用，这就使固有的薄膜不
再腐蚀。臭氧就是最易引起聚合作用的，控制几天后可以
发现臭氧与产品缺陷的关系，在臭氧值降至土6ppm后问题
也就解决了。
器件纯度要求器件内外可容杂质程度和测量此种杂质
的仪器能力都是不同。有些情况并不由于仪器的灵敏度不
好，也有使用了灵敏度最好的分析仪器而不能检测出有害
杂质的情况，尤其是对硅杂质的
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