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本文标题："金属晶粒分别特征加工工艺分析金相显微镜"
新闻来源：未知 发布时间：2015-6-7 0:11:05 本站主页地址：http://www.jiance17.com
金属晶粒分别特征加工工艺分析金相显微镜
因此对晶体取向必须引起足
够的重视．可能预期到的与晶体取向有关的工艺．一般地说，如
果一种物理性质不是标量，则在大多数晶态材料中它将是方向敏
感的叫．用二阶张量表示的性质，几乎包括半导体工艺中通常最
感兴趣的所有性质(电阻率、热传导率、扩散系数)，它们在立方晶
系中都是与方向无关的(而目前主要的半导体大多数都是属于立
方晶系的)．
然而，在试图事先预言某些测试行为方面却存在一些问题．
问题产生的原因是由于难以确定某些性质(例如硬度、腐蚀速
度)的确切的定义，或是由于对某一性质的显然简单的测试中却
可能以某种难以捉摸的方式意外地牵连了一些附加现象
测定晶体取向有多种方法．这些方法大致可分荛
两大类：一类是借助于直接观察一些可辨别的特征，如生长小平面
或腐蚀坑；另一类是X射线衍射．所有直观的方法都需要对所硼
究的具体材料的生长、腐蚀和破裂等特征事先有所认识．X射线
定向法不需要上述附加的知识，但却需要专门的设备。对上述的
任一种情况，都假定被检测的半导体的晶体结构是已知的
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