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电子显微镜
用高速运动的电子束代替光束,使电子束在特殊的电子系统中
成象的显微镜,在1932年-1933年由德国的克诺尔和鲁斯卡首创。
电子束的波长比光波波长小得多,只有几埃到百分几埃,甚至更小
,因此,电子显微镜的分辨本领比普通显微镜高近千倍,通过它能
观察到单个重原子和大分子的象,其光路的基本原理和光学显微镜
相似,使用的是电子透镜,即利用电场和磁场使电子束聚焦,
电子透镜有静电透镜和电磁透镜两种,静电透镜一般用做聚光镜,
电磁透镜一般用做成象透镜,最后成象于感光板、荧光屏或电视
系统上,现在大都采用几个电磁透镜和一个静电透镜的给系统,成象
透镜数目越多,系统的放大倍数越大,再经20-1000千伏电压加速
,电子束通过聚光镜聚焦在样品上。根据电子束和样品间相互作用
的方式不同,电子显微镜分为:透射式、反射式、发射式电子显微
镜和扫描电子显微镜等。其中以透射电子显微镜应用最广,它的放
大率可达几十万倍,分辨本领达几埃。
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