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150毫米以下的零件的外尺寸测量光学仪器
接触干涉仪
该仪器是利用光波干涉原理,用已知的光波波长为
基准,以比较接触测量法来测定长度的精密仪器,
它广泛用于科研单位或工厂计量室。对150毫米以下
的零件的外尺寸作相对测量和检定二等以下手块规。
刻度值可在0.2-0.05微米范围内进行调节。
光较仪和超级光较仪
光较仪是利用机械杠杆、光学杠杆、光学放大和准
直原理制成的,它比纯机械杠杆仪器具有更大的优点
,除放大此高外,其灵敏度和可靠性都较高,刻度值
为1微米,用于相对测量。它分为立式和卧式两种,
立式多用于180毫米以下的零件的外尺寸测量
;卧式用于外尺寸和内尺寸测量,还可用三针法测量
螺纹中径,光较仪广泛用于科研单位和工厂计量室。
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