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本文标题："光学比较显微镜-对比不同样品的区别软件"
新闻来源：未知 发布时间：2014-12-8 1:50:57 本站主页地址：http://www.jiance17.com
光学比较显微镜-对比不同样品的区别软件
光学比较法
这种方法的工作原理是将两块掩膜版
进行比较以寻找两者之间的差别。两块掩
膜版分别放在平台上，然后分别由经过滤
色后成，为互补色的两个光源照明，将两块掩膜版
的图形进行重叠，造成显微镜中的明场和
暗场的匹配区域。假如两块掩膜的某一块
出现图形上的变化，就会以这块掩膜版所照射的光源的颜色显示
出来。人的眼睛对于图形的差别是非常敏感的，因此一旦在掩膜版
上出现缺陷或者图形异常，将会很快被检查出来。但使用光学比
较法来发现缺陷，其代价是很高的，因为:1.套准必须最佳，但
这是很花费时间的，2。操作过程很难实现自动化，3.需要特别高
的机械精度。
上述这些问题是很重要的，因此光学比较器现在一般仍用于
检验一些特别重要的领域，如临界尺寸检验和线条宽度变化等。
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