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本文标题："光学显微镜应用于分析金属热加工显微结构"
新闻来源：未知 发布时间：2014-12-8 1:50:44 本站主页地址：http://www.jiance17.com
光学显微镜应用于分析金属热加工显微结构
在曝光工艺中，另一个变量是光刻胶的灵敏度。而这个参数又
是前烘温度、表面反射情况、涂胶后版子的存放时间、光刻胶的批
号、版子的温度和工艺区的温度等的函数。这些因素都是可控的
另外，光刻胶曝光不足已成为提高生产率的一个突出的问题，
曝光不足将导致光刻胶显影不均匀和显影不干净，从而使刻蚀
不均匀和刻蚀不完全。有时会留下叫层用光学显微镜无法观察到的薄膜。
为了迅速检查曝光不足情况，可对部分光刻胶进行过曝光（2倍于正常曝光量)，
通过对显影速率的变化来检查曝光不足情况。如果曝光充分和适当，
在显影液中立刻会看见“红云”出现。一般为10s左右。对各种不同的显影方法，
“红云，出现的时间略有不同。目前，检测曝光量的设备发展很快，这
些设备能更快更简单地反映出曝光能量的变化情况。.
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