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本文标题："使用高精度的测量光学显微镜检测样品质量"
新闻来源：未知 发布时间：2014-11-12 17:41:54 本站主页地址：http://www.jiance17.com
使用高精度的测量光学显微镜检测样品质量
传感器的检测精度
扫描基准的运动精度
在现有的精密检测技术条件下，要求现高精度的检测，则需
亚微米级精度的变位计和能测量出0.1s数据精度的角度计，但
是，以高精度的扫描基准来进行测量是非常困难的，因为扫描
形状测量的精度是由扫描引导的运动精度决定。
工作机械直线运动机构的高精度化是精密检测技术的保证，
运动机构的运动误差是评价精度必要的手段。高精度的直定规
等是测量运动基准的最后一般办法，但在测量移动范围很大的
计测法等，开发出了以激光光线为基准的测量法。
在扫描检测方法中，在获取工件形状信息的同时，引导机构的
运动误差也同时被检测并包含检测结果中，则须通过误差分离
方法，将工件的形状信息和引导误差进行分离。机床的运动精
度一般需要进行在线有测量才比较可靠。在扫描测量方法中，
在将引导机构的运动误差分离之后，才可以使用高精度的测量
仪器对工件误差进行评价。同样，测量基准对纳米计测来说也
是相当重要的。
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