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本文标题："精密加工面形测量-光学式粗糙度测量显微镜"
新闻来源：未知 发布时间：2014-11-12 17:41:42 本站主页地址：http://www.jiance17.com
精密加工面形测量-光学式粗糙度测量显微镜
超精密加工技术追求的是精度极限，随着品质的稳定和需求
的增大，对高效率加工的要求也就越来越高。在高效率加工同
时，为不保证加工精度，须对工件精度进行测量。然后及时将
结果反馈回控制程序，对工件进行补偿加工，从而进一步提高
工件的加工精度，显然，精密测量技术在超精密加工中占据了
重要的地位。
在常用的超精密形状测量法中，利用光干涉的面形测量法运
用的最多。干涉测量法的应用前提是必须要保证基准元器件的
精度，但如何保证其精度是现在面临的主要问题之一。
而且目前非球面形状的干涉测量法仍旧不成熟，这也是现在需
要解决的关键问题之一。鉴于干涉法对振动或环境的适应很弱
的情况下，该测量方法更倾向于大型化的光学系统测量，
而不是倾向于微型的光学测量或机械测量。与此相对应的是，
扫描测量方法可以实现球面或平面，以及非球面等多种形状的
简单在线测量。
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