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本文标题："微米级加工精度和工件的尺寸测量工具显微镜"
新闻来源：未知 发布时间：2014-11-12 12:39:43 本站主页地址：http://www.jiance17.com
一般的， 在扫描测量法中，需先确定好严格的测量基准，
然后开始对对被测物体进行扫描，以此查获得被测量物的相对
位置变化或相对角度等。根据母性原理，扫描测量法和测量精
度由以下两个因素决定：
精密检测技术是顺应精密加工技术的需求出现和，且伴随加
工技术的进步而发展。对工件的检测与评价顺由检测技巧决定
。精密加工技术和精密检测技术就像汽车上的两个轮子，
缺一不可。一般的，加工精度和工件的尺寸之比超过了10，或
是加工精度的绝对值为微米级或超出这一范围的加工都可称为
超精密加工。超精密检测技术的精度必须比对应的超精密加工
精度高一个数量级。最近，超精密加工的精度要求不断地提高，
对加工面形的要求不仅仅是平面或镜面的加工。
而且对非球面形状部件加工的需求也越来越多。非球面能平衡
光学误差，这种优越的光学性能使非球面光学元件具备广泛的
应用前景。为了能实现多种形状的超精密加工，超精密测量技
术将被寄予更高的期望。
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