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表面轮廓技术很多是由距离测量或焦距测定技术发展而来的,同时
它们也往往需要进行扫描来获得面形轮廓。本章将介绍探针轮廓仪、
扫描探针显微镜、共焦显微镜及干涉光学轮廓仪。这些仪器都被广泛
应用于表面面形的测定。而且既适用于极小的典型工程表面,也适用
于非球面和玻璃平板这样大面形检测。
扫描探针显微镜和探针轮廓仪,然后围绕着近十年来发展的、
单色光及白光照明
干涉显微镜,另外还对近年来被广泛应用于工程表
面测量和共焦显微镜进行了介绍。
多波长干涉测量技术方面的工作,也就是双波长和多波长、波长扫
描、光谱分析、白光干涉测量技术。白光和多波长技术也常常应用其
测量方法、比如散斑、全息及条纹和结构光投影过程。
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