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本文标题："衬底表面高的粗糙度膜结构厚度用金相显微镜"
新闻来源：未知 发布时间：2014-10-7 17:26:12 本站主页地址：http://www.jiance17.com
衬底表面高的粗糙度膜结构厚度用金相显微镜
新凝聚的原子形成二维的表面层，其特点是具有高的表面原
子迁移率，在很多方面类似液相.薄膜结构受到原子表面迁移和
易动表而层中形核的强烈影响，也受衬底表面原子结构及其存在
深势阱的影响，深势阱促进不均匀形核过程.在.真空情况下，
在晶体的衬底上这些势阱可能与衬底表面高的粗糙度有关，并与
原子台阶及其中的凸起物有关.在低真空度的情况下，则与吸附
气休的原子和氧化物小岛等等有关。非晶形衬底的表面也有凹凸
不平，可促进形核并导致不均匀的薄膜沉积。
具有很高的沉积速率和低的衬底温度时，原子运动被抑制，
可形成非晶态薄膜。薄膜与衬底的原子间结合力愈弱，则表面扩
散速率愈大，并且形成孤立沉积物的几率愈高，从而产生连续而
容易脱落的薄膜。这个现象是贵金属原子所特有的。
若低挥发金属沉积在另一低熔点金属上，在交界面处常形成
合金.
如果在薄膜材料中，原子键能大于薄膜与衬底的原子键能，
并且薄膜原子表面迁移率高，则在多晶体薄膜中的晶核将具有择
优晶体学取向。如沉积原子移动方向垂直于衬底，薄膜织构为轴
向。薄膜中所有小晶体具有平行于衬底面的确定晶面，更严格地
说是平行于薄膜的外表面。但垂直此面的方向则是任意取向.
通常具有最低表面能的晶面都是平行于衬底的表面，薄膜晶
体表面能择优作用，这点也为甚至可在非晶形的衬底上形成这类
织构的事实所证实。
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