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本文标题："显微镜的分辨率取决于射到试样表面上电子束的直径大小"
新闻来源：未知 发布时间：2014-9-29 16:32:54 本站主页地址：http://www.jiance17.com
显微镜的分辨率取决于射到试样表面上电子束的直径大小
扫描电子显微镜的分辨率取决于射到试样表面上电子束的直径大小。最小的分辨距离
大体上等于射到试样表面上的电子束的直径，因此人们希望尽可能地减小这个直径。电子
枪起着扑电透镜的作用，它可形成一个直径约为60微米的灯丝图象。这个图象是第一电磁
透镜的缩小目标，而且所有三个透镜(某些扫描电子显微镜只用两个透镜)都起缩小电子束
的作用。第三个透镜1.3还使电子束聚焦于试样表面上。经过三个透镜后，射到试样表面
上的电子束直径缩小到10毫微米(100埃)。
该电子束以一条线表示，因而这
些透镜的聚焦作用没有表示出来。但是，该图说明二组扫描线圈怎样使电子束发生偏转，
以便在试样表面上进行扫描。放大倍数等于阴极射线管荧光屏上的图象宽度除以试样表面上
电子束的扫描宽度，阴极射线管荧光屏的宽度是固定的，而试样表面上电子束的扫描宽度是
由扫描线圈中电流的大小所控制的。
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