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设计精密
测量显微镜时,从现实看来受到各种制约的地方较多。
为此,如果进行多少有点不合理的结构设计,最必要的测量精度
也是不会稳定的。因此,为了保持稳定的测量精度,就需要设计
出能校正产生误差的机构和装置的测量显微镜,
试把受实际工作所制约的条件加以整理后,主要有以下几点。
1/主要零件的加工误差
通常精密测量显微镜在那个时代中,需要比加工精度还要高的测
定植度。因此,根据情况,使用加工精度不良的主要零件,会限
制高精度测量显微镜的设计与制造的条件。
2/在运动部分产生的变形
在机构设计阶段中,因为组成机构的各个元件是刚体的,所
以不会变形。但是,在结构设计阶段,所有的刚体在设计中都不
能予以考虑。特别是载荷集中部分,在运动部分有沉重的物体移
动时,当然要考虑弹性变形,并要采取相应的措施。
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